Ποια υλικά οι ημιαγωγοί αποτελούνται από; Ψεκάζοντας στόχοι μολυβδαίνιου για τους ημιαγωγούς

Σήμερα, οι ψεκάζοντας στόχοι χρησιμοποιούνται σε μια ευρεία ποικιλία των εφαρμογών που κυμαίνονται από τη βιομηχανία ημιαγωγών ως την απόθεση λεπτών ταινιών των διάφορων υλικών στην επεξεργασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Η επιμετάλλωση είναι μια καθιερωμένη τεχνική για τις λεπτές ταινίες ποικίλων υλικών επάνω στα υποστρώματα των διάφορων μορφών και των μεγεθών. Προκειμένου να ληφθούν οι επιθυμητές ιδιότητες ψεκάστε μέσα τις κατατεθειμένες ταινίες, τα υλικά και οι διαδικασίες επεξεργασίας που χρησιμοποιούνται για να κατασκευάσουν ψεκάζουν το στόχο είναι κρίσιμα. Κατωτέρω ρίχνουμε μια ματιά στους ψεκάζοντας στόχους μολυβδαίνιου για τους ημιαγωγούς.

Εκτός από τους καθαρούς στόχους μετάλλων όπως το βολφράμιο, το μολυβδαίνιο, το νιόβιο, το τιτάνιο, και το πυρίτιο, υπάρχουν επίσης στόχοι κραμάτων όπως το βολφράμιο, το μολυβδαίνιο, το τιτάνιο, το πυρίτιο, και το ταντάλιο, καθώς επίσης και οι ενώσεις όπως τα οξείδια ή τα νιτρίδια. Η διαδικασία το υλικό είναι τόσο σημαντική όσο οι λειτουργούσες παράμετροι απόθεσης που οι μηχανικοί και οι επιστήμονες τέλειοι κατά τη διάρκεια του επιστρώματος επεξεργάζονται.

Έναντι άλλων μεθόδων απόθεσης, η ψεκασμένη ταινία έχει την καλύτερη προσκόλληση στο υπόστρωμα, και τα υλικά με τα εξαιρετικά υψηλά σημεία τήξης όπως το μολυβδαίνιο και το βολφράμιο επίσης εύκολα ψεκάζονται. Επίσης, η επιμετάλλωση μπορεί να γίνει από πάνω προς τα κάτω, ενώ η εξάτμιση μπορεί μόνο να γίνει από από κατω έως επάνω.

Οι ψεκάζοντας στόχοι είναι χαρακτηριστικά στρογγυλοί ή ορθογώνιοι, αλλά άλλες μορφές είναι επίσης διαθέσιμες, συμπεριλαμβανομένων των τετραγωνικών και τριγωνικών σχεδίων. Το υπόστρωμα είναι το αντικείμενο που ντύνεται, το οποίο μπορεί να περιλάβει τις γκοφρέτες ημιαγωγών, τα ηλιακά κύτταρα, τα οπτικά στοιχεία ή πολλές άλλες δυνατότητες. Το πάχος του επιστρώματος είναι χαρακτηριστικά στη σειρά των angstroms στα μικρά. Η μεμβράνη μπορεί να είναι ενιαία υλικά ή πολλαπλάσια υλικά σε μια πολυστρωματική δομή.

Σαν πυρίμαχο μέταλλο με ένα ευρύ φάσμα των χρήσεων, το μολυβδαίνιο έχει τις άριστες μηχανικές ιδιότητες, τη χαμηλή επέκταση, την υψηλή θερμική αγωγιμότητα και την εξαιρετικά υψηλή ηλεκτρική αγωγιμότητα στις υψηλές θερμοκρασίες. Σαν ψεκάζοντας στόχο, υπάρχουν διάφοροι συνδυασμοί, όπως ο καθαρός στόχος μολυβδαίνιου, στόχος τιτανίου μολυβδαίνιου, στόχος τανταλίου μολυβδαίνιου, στόχος κραμάτων μολυβδαίνιου (όπως το πιάτο TZM).

Ο ψεκάζοντας στόχος μολυβδαίνιου έχει τα χαρακτηριστικά της υψηλής αγνότητας, της υψηλής πυκνότητας, των λεπτών και ομοιόμορφων σιταριών, ώστε να ληφθούν η εξαιρετικά υψηλή αποδοτικότητα επιμετάλλωσης, το ομοιόμορφο πάχος ταινιών και η ομαλή επιφάνεια χαρακτικής κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιμετάλλωσης.